1 opracowanie technik mikrofabrykacji wielowarstwowych układów mikroprzepływowychPiotr Garstecki, Adam Samborski Grupa Badawcza Mikroprzepływów i Płynów Złożonych Instytut Chemii Fizycznej PAN Kwantowe Nanostruktury Półprzewodnikowe do Zastosowań w Biologii i Medycynie sesja sprawozdawcza 04/2009 Instytut Chemii Fizycznej PAN, Warszawa, 7/4/2009

2 mikro obróbka skrawaniemtechnologia mikrofabrykacji miękka litografia mikro obróbka skrawaniem 5 mm

3 litografia

4 Litografia -- projekt

5 Litografia - maski

6 Litografia - matryce

7 Litografia - stemple

8 Litografia - bonding

9 Litografia – gotowy układ

10 układy frezowane -- projekt

11 układy frezowane -- frezowanie

12 układy frezowane -- zgrzewanie

13 układy frezowane – gotowy układ

14 układy frezowane – gotowy układ

15 układy frezowane – gotowy układ

16 jesteśmy gotowy do integrowania sensorów z układami wykonanymi technikami litograficznymi mikro obróbki skrawaniem 5 mm