1 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU
2 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYNNIKI DECYDUJĄCE O UZYSKU 1.Czystość pomieszczeń 2.Czystość wody 3.Czystość gazów technicznych i odczynników chemicznych - filtracja,
3 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ
4 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Wytwarzanie struktur mikroelektronicznych a w szczególności struktur półprzewodnikowych wymaga odpowiedniego przygotowania laboratoriów, które muszą być wyposażone w: SYSTEMY KLIMATYZACYJNE
5 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR APARATURA
6 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR
7 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH
8 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH
9 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ KLIMATYZATOR NADMUCH WYCIĄG
10 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ Charakterystyka otaczającego powietrza Temp. latem [°C] Temp. zimą [°C] Wilg. względna[%] Maksymalna liczba cząstek o rozm. 0.5 m/l Klasa pomieszczenia 12345 22 0.520 1.020 2.0 22 0.523 1.023 2.0 45 5.050 5.050 10 4 3535010003500 Zgodnie z ogólnymi normami
11 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) CZYSTOŚĆ POMIESZCZEŃ ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH
12 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA CZĄSTECZKI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH PODŁOŻE PÓŁPRZEWODNIKOWE
13 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m 35 7.5 3 1 brak.
14 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 10 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m 350 75 30 10 brak
15 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 100 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m Nie oznacz. 750 300 100 brak
16 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA CZYSTOŚCI POMIESZCZENIA – ILOŚĆ CZĄTEK O OKREŚLONYCH ŚREDNICACH W STOPIE SZEŚCIENNEJ (CUBIC FOOT) KLASA 1000 O.1 m O.2 m O.3 m O.5 m 5.0 m n.oznacz. 1000 7
17 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH PRZESTRZEŃ ROBOCZA WENTYLATOR ZASYSAJĄCY POWIETRZE BATERIA FILTRÓW KOMORA LAMINARNA
18 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) ZAPYLENIE PRZESTRZENI ROBOCZYCH KLASA 10 KLASA 100
19 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA
20 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA Woda jest jednym z najważniejszych surowców pomocniczych stosowanych w przemyśle elektronicznym Służy do przemywania detali elektronicznych, płukania podłoży półprzewodnikowych po procesach mycia, trawienia itp..
21 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA
22 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA + -
23 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA Chemicznie „czysta” woda składa się cząsteczek H 2 O oraz niewielkiej ilości jonów H+ i OH- Iloczyn jonowy wody (T=25°C)
24 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA + - KATODA - - ANODA + +
25 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA Przewodność właściwa absolutnie czystej wody (wartość obliczona) wynosi:
26 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl-
27 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 -
28 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - KATODA ANODA
29 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) WODA - ZANIECZYSZCZENIA WODA + - Na+ Cl- K+ SO 4 - ANODA + + KATODA - -
30 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY
31 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH JONÓW
32 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY PRZEWODNOŚĆ ELEKTRYCZNA WŁAŚCIWA Jest funkcją zawartości „zanieczyszczeń” o charakterze jonowym Woda stosowana w przemyśle elektronicznym ma czystość na poziomie (10÷18)M cm
33 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZDOLNOŚĆ ODTLENIAJĄCA WODY Jest miarą zanieczyszczeń organicznych. Określa ilość miligramów tlenu potrzebną do utlenienia związków organicznych w 1l wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 1mg O 2 /l
34 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ SUCHEJ POZOSTAŁOŚCI Jest wskaźnikiem ilości zanieczyszczeń, które pozostają po odparowaniu porcji wody Wymagania dla wody w przemyśle elektronicznym są na poziomie poniżej 0.5 mg/l
35 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) MIARY CZYSTOŚCI WODY ZAWARTOŚĆ WYBRANYCH GRUP JONÓW W zależności od wymagań w wodzie oznacza się zawartość wybranych jonów: Fe(+3), Ca(+2), Mg(+2), Cl(-), SO 4 (-) i inne
36 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY
37 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY Metody oczyszczania wody DESTYLACJA REDESTYLACJA DEJONIZACJA
38 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY DESTYLACJA
39 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA 230V WLEW
40 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DESTYLACJA GRZAŁKA WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V DESTYLAT WLEW
41 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY REDESTYLACJA
42 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) REDESTYLACJA WLOT WYLOT CHŁODNICA GRZAŁKA WLEW
43 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) REDESTYLACJA REDESTYLAT 230V WLOT WYLOT CHŁODNICA 230V WLEW DESTYLAT
44 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZACJA
45 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA KOLUMNA JONITOWA ODPOWIETRZENIE
46 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA WLOT WYLOT Substancja jonowymienna „JONIT”
47 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA Proces wymiany jonowej WLOT WYLOT
48 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA JONITY NIEORGANICZNEORGANICZNE NATURALNE SYNTETYCZNE
49 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA JONITY KATIONITYANIONITY SYNTETYCZNE słabo-kwaśne silnie-kwaśne słabo-zasadowe silnie-zasadowe
50 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA KOLUMNA KATIONITOWA KOLUMNA ANIONITOWA „wychwyt” kationów„wychwyt” anionów
51 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA JONITY BUDOWA
52 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -KATIONIT POLIMEROWY MAKROKATION GRUPA JONOWYMIENNA KATIONY K+ Ca2+ Na+
53 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -ANIONIT POLIMEROWY MAKROANION GRUPA JONOWYMIENNA Cl- HCO 3 -SO 4 - ANIONY
54 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA JONITY UŻYTKOWANIE
55 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA KOLUMNA JONITOWA PRACAREGENERACJA HCl lub NaOH H2OH2O H2OH2O SOLE
56 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA PRACA
57 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -KATIONIT K+ Na+ Ca2+ Na
58 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -KATIONIT K+ K Na+ Ca2+ Ca Na
59 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -ANIONIT Cl- SO 4 -HCO 3 -
60 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -ANIONIT Cl Cl- SO 4 SO 4 - HCO 3 -
61 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) REGENERACJA JONITÓW REGENERACJA
62 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) REGENERACJA -KATIONIT HCl K Ca NaHCl Ca Na KKK
63 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -KATIONIT KCl NaClCaCl 2 NaCl
64 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) REGENERACJA -ANIONIT Cl SO 4 NaOH Cl SO 4
65 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZACJA -KATIONIT NaCl Na 2 SO 4
66 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) OCZYSZCZANIE WODY DEJONIZATORY
67 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT Dwukolumnowy układ dejonizatora
68 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZATORY KATIONIT ANIONIT WĘGIEL 10 m FILTRACJA WSTĘPNA Trzykolumnowy układ dejonizatora
69 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZATORY Pięciokolumnowy układ dejonizatora 10 m FILTRACJA WSTĘPNA KATIONIT ANIONIT KATIONIT ANIONIT ZŁOŻE MIESZ.
70 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) DEJONIZATORY Trzykolumnowy układ dejonizatora 10 m FILTRACJA WSTĘPNA ZŁOŻE MIESZ. ZŁOŻE MIESZ
71 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ
72 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - ANODA KATODA KOLUMNA PÓŁPRZEWODZĄCA DLA ANIONÓW MEMBRANA
73 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - -+ + + + WODA ZANIECZYSZCZONA
74 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + + + + + + + + - - - - - - - - - + - + - WODA ZANIECZYSZCZONA WODA OCZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY +
75 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ + - WODA OCZYSZCZONA WODA ZANIECZYSZCZONA STRUMIEŃ WODY WYMYWAJĄCY JONY ANODA KATODA - - - - - - - - + + + + + + ++ + +
76 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża
77 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża W systemie konwencjonalnym następuje moment „wyczerpania się” złoża
78 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA
79 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) SYSTEM DEJONIZACJI CIĄGŁEJ REZYSTYWNOŚĆ WODY DI CZAS UŻYTKOWANIA ZŁOŻA W systemie CDI nie występuje potrzeba okresowej regeneracji złoża REGENERACJA
80 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE
81 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE GŁOWICA SZKLANA OSLONA PLATYNOWE ELEKTRODY 000 S KONDUKTOMETR
82 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 150 S KONDUKTOMETR
83 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 17°C KONDUKTOMETR
84 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 000,00 S ELEKTRODY PLATYNOWE
85 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) KONDUKTOMETRY CIECZOWE 040,00 S WODA
86 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY
87 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY Filtracja wstępna Oczyszczanie osmotyczne Odgazowanie dejonizacja wstępna (4-16)M cm ZBIORNIK Dejonizacja końcowa Sterylizacja ultrafioletem UV Filtracja na filtrach sub- mikronowych PUNKT UŻYCIA 18 M cm Neutralizacja
88 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM ŻYCIE BIOLOGICZNE
89 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) INSTALACJE DO OCZYSZCZANIA WODY STERYLIZACJA ULTRAFIOLETEM
90 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) USUWANIE ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH FILTRACJA
91 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m
92 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m Cząstki dymu tytoniowego
93 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m 0.1 m 0.3 m
94 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA SiO 2 n+ Si typ p Al D G S (0.3 –0.18) m Włos ludzki 60 m
95 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA 100 m 80 m 60 m 40 m 20 m 10 m WŁOS LUDZKI NAJMNIEJSZE OBIEKTY WIDZIALNE OKIEM LUDZKIM MIKROSKOP OPTYCZNY
96 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA 10 m 8m8m 6m6m 4m4m 2m2m 1m1m ERYTROCYTY NAJMNIEJSZE KOLONIE GRZYBÓW MIKROSKOP OPTYCZNY
97 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA 1m1m 0.8 m 0.6 m 0.4 m 0.2 m 0.1 m DYM TYTONIOWY NAJMNIEJSZE BAKTERIE MIKROSKOP OPTYCZNY MIKROSKOP ELEKTRON.
98 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA 0.1 m 0.08 m 0.06 m 0.04 m 0.02 m 0.01 m CZĄSTKI SADZY WIRUS POLIO MIKROSKOP ELEKTRON.
99 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA FILTRACJA PRZY WYKORZYSTANIU FILTRÓW MEMBRANOWYCH
100 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA OBUDOWA FILTRU FILTR USZCZELKI TEFLONOWE WLOT WYLOT
101 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA FILTR MILLIPORE średnica porów 0.2 m WLOT WYLOT Na filtrze zostaną „wychwycone” zanieczyszczenia o średnicach powyżej 0.2 m
102 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA Wielkości porów filtrów produkowanych przez firmę MILLIPORE 14 m 5 m 3 m 1.2 m 0.45 m 0.22 m 0.10 m 0.05 m 0.025 m Informacja zaczerpnięta z katalogów wyrobów firmy MILLIPORE
103 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA ZESTAWY FILTRACYJNE W SYSTEMIE DYSTRYBUCJI GAZÓW
104 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA - ZESTAWY TLEN AZOT POWIETRZE KOMORA ROBOCZA FILTR WSTĘPNY TYP ITYP II FILTRY KOŃCOWE
105 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA - ZESTAWY KOMORA ROBOCZA FILTR KOŃCOWY TYP I TYP II SiH 4 PH 3 SiCl 4 SZAFA GAZOWA WYCIĄG Gazy specjalne
106 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA FILTRACJA ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH
107 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA Na drodze „od producenta” odczynników chemicznych dla elektroniki do „punktu użycia (point of use)” dany materiał (preparat) podlega wielokrotnej filtracji PRODUCENT ODCZYNNIKÓW PUNKT UŻYCIA (POINT OF USE) FILTRACJA
108 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE FILTRACJA WSTĘPNA 13245 FILTRACJA POCZĄTKOWA FILTRACJA ZASADNICZA FILTRACJA KOŃCOWA FILTRACJA „POINT OF USE” SPADEK ILOŚCI ZANIECZYSZCZEŃ MECHANICZNYCH
109 TECHNOLOGIE MIKROELEKTRONICZNE Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]) FILTRACJA – ODCZYNNIKI CHEMICZNE WYTWARZANIE MATERIAŁÓW Z ODCZYNNIKÓW CHEMICZNYCH PRZEPAKOWYWANIE WYTWARZANIE ODCZYNNIKÓW 1 3 24 4 555 1l1l1l1l 1l1l1l1l 1l1l1l1l 55 gal.
110